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FFU风机滤网机组(Fan-FilterUnit, FFU)是一种结合送风机与高效滤过滤器(HEPA/ULPA)的气流循环与过滤设备,目前大量的使用于各类无尘室中,做为无尘室二次侧循环过滤系统的主要设备,同时也是整个无尘室气流处理的终端设备。
FFU风机滤网机组的使用大概始于1980年代,到1990年代几乎新建的无尘室(特别是亚太地区)均属FFU型态,风淋室而且因为大量的使用,也使得技术的发展更趋成熟、先进,近年来导入的直流无刷机种与微环境无尘设计便是明显的例证。
FFU产品技术基本上是送风机技术的延伸,而由于无尘室对振动及噪音问题相当敏感,因此在扇叶与风道的设计及整体组装质量的要求上比一般送风机高,不过从设计的观点而论,气动效率(aerodynamicefficiency)高的扇叶与风道,加上注重整体组装的质量,即能同时达到振动与噪音的抑制及提升能源效率的目的。提升能源效率并不仅是一个美丽的口号,对于自然资源缺乏及面对激烈国际竞争的我国实具有重大、深远的影响。能源高效使用不但社会整体经济成本降低,同时也能降低对自然环境的冲击,而从终端使用者的角度来看,高能源使用效率可降低生产成本,是面对国际竞争的利器,空气过滤器同时也是技术密集度高的产业永续发展的保障,因此国际上咸认提升能源效率乃无悔措施(policyof no regret)。
目前市场上FFU品牌正逐渐增多,我国市场目前则仍以国外产品占大部份,特别是在大型、新建的无尘室部份。FFU既然是送风机技术的延伸,在目前尚未有国际性标准的测试方法下,可暂时引用送风机性能的标准测试方法,以做为国内技术开发与性能比较的工具。
净化系统中,高效过滤器是高洁净度空气净化的关键设备。对高效空气过滤器检漏的测定,是为了确定高效过滤器本身及系统安装是否有明显渗漏,发现高效过滤器及其安装的缺陷,以便采取补救措施。